LiteScope Phenom combineert de vertrouwde Thermo Scientific Phenom XL G3 Desktop SEM met de in-situ gecombineerde kracht van de NenoVision LiteScope AFM-in-SEM. Het resultaat is een praktische alles-in-één oplossing voor snelle materiaalbeeldvorming en analyse, met echte 3D-oppervlakte-informatie en lokale mapping van materiaaleigenschappen. Zonder het monster tussen instrumenten te verplaatsen. Zo brengt LiteScope Phenom gecombineerde AFM-in-SEM-karakterisering naar een toegankelijke desktopomgeving, zonder de kosten en de footprint van een afzonderlijke high-end SEM en een stand-alone AFM.
- Grote monstertafel tot 100 mm × 100 mm
- Gemiddelde tijd tot SEM-beeld: 60 seconden
- In-situ AFM in de SEM-kamer
- Correlatieve AFM + SEM in één workflow




