LiteScope Phenom kombiniert das bewährte Thermo Scientific Phenom XL G3 Desktop-REM mit der korrelativen In-situ-Leistungsfähigkeit des NenoVision LiteScope AFM-in-REM. Das Ergebnis ist eine praktische All-in-One-Lösung für die schnelle Materialbildgebung und -analyse, die echte 3D-Oberflächeninformationen sowie eine lokale Kartierung von Materialeigenschaften ermöglicht, ohne die Probe zwischen verschiedenen Geräten bewegen zu müssen.
Damit wird die korrelative AFM-in-REM-Charakterisierung auf einer zugänglichen Desktop-Plattform realisiert, ohne die Kosten und den Platzbedarf eines separaten High-End-REMs und eines eigenständigen AFMs.
- Großer Verfahrweg bis zu 100 mm × 100 mm
- Durchschnittliche Zeit bis zum REM-Bild: nur 60 Sekunden
- In-situ-AFM direkt in der REM-Kammer
- Korrelative AFM- und REM-Analyse in einem einzigen Workflow




