LiteScope AFM-in-SEM

De unieke Atomic Force Microscope LiteScope is ontworpen om de sterke punten van AFM en SEM technieken te combineren, wat resulteert in een effectieve workflow en het uitbreiden van de mogelijkheden van correlatieve microscopie en in-situ analyse die moeilijk of bijna onmogelijk waren met conventionele instrumenten.

  • In-situ multimodale & correlatieve analyse
  • Geoptimaliseerde & tijdbesparende workflow
  • Ultieme prestaties binnen SEM
  • Open-hardware ontwerp voor eenvoudige aanpassing

LiteScope integratie in SEM

LiteScope is ontworpen voor snelle en eenvoudige integratie met verschillende SEM’s via de “Plug & Play” modus. Passende adapters en aansluitingen worden geleverd en kunnen worden aangepast aan de wensen van de klant.

De installatie is heel eenvoudig en kan door elke SEM-gebruiker worden uitgevoerd. Eerst wordt de LiteScope met vier schroeven bevestigd aan de adaptatieplaat die op de SEM sample stage gemonteerd is. De elektrische kabels worden aangesloten op de voorbereide vacuümdoorvoer. In totaal duurt het hele proces van monteren en eventueel demonteren van het apparaat slechts een paar minuten.

LiteScope is via de controle-unit verbonden met dezelfde PC die gebruikt wordt om de SEM aan te sturen. Deze compacte opstelling maakt het mogelijk om de correlatieve AFM-in-SEM metingen op één plaats uit te voeren met behulp van de NenoView software.

Bekijk onze SEM oplossingen hier

Voordelen van AFM-in-SEM oplossing

Complexe en correlatieve monsteranalyse

Geavanceerde CPEM-technologie maakt het mogelijk om gelijktijdig AFM- en SEM-gegevens te verzamelen en deze feilloos te correleren.

In-situ monsterkarakterisatie

In-situ metingen in de SEM zorgen voor monsteranalyse op hetzelfde moment, op dezelfde plaats en onder dezelfde omstandigheden.

Precieze lokalisatie van het interessegebied

Uiterst precieze en tijdbesparende aanpak maakt gebruik van SEM om de AFM-tip naar het interessante gebied te navigeren, zodat het snel en eenvoudig gelokaliseerd kan worden.

Complexe in-situ karakterisatie

AFM biedt een nieuwe karakterisatiemethode van inside-to-SEM, waarmee een breed scala aan eigenschappen kan worden geanalyseerd:

Materiaal mechanische eigenschappen

  • Topography
  • Local elastic properties (tapping & contact mode)
  • Local sample hardness (non-topographic)
  • Depth-dependent material characterization
  • Various in-situ operations

Magnetische materiaaleigenschappen

  • Magnetic domain imaging

Elektromechanische materiaaleigenschappen

  • Piezoelectric domain imaging

Elektrische materiaaleigenschappen

  • Conductivity map (inclusief geïsoleerde gebieden)
  • Local surface potential
  • Local electrical properties (non-topographic)
  • Sub-nanometer topography

Meer weten over AFM-in-SEM?