Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher, Kohlenstoffverunreinigungen zu entfernen, ist ein bedeutender Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Verringerung von Verunreinigungen durch Cold Trapping, Stickstoffspülung und andere Plasmareiniger. Der GV10x mit seinem erweiterten Leistungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 250 bis <0,7 Pa) stellt einen Paradigmenwechsel bei der Kohlenstoffdekontamination von REMs und anderen Vakuumsystemen dar. Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen Verunreinigungen, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Gasphasenmoleküle umwandeln, die dann aus der Kammer abgepumpt werden.

Der GV10x UHV DS Asher ist so konzipiert, dass der Druck nach der Plasmareinigung in einer UHV-Kammer im Millitorr-Bereich verbleibt, das Vakuum also nicht einbricht. Diese einzigartige In-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Trennventil und eine Vorpumpe überflüssig. Durch ein innovatives Plasmaquellendesign reduziert der GV10x UHV Downstream Asher Kohlenwasserstoffverunreinigungen auf Synchrotronoptiken 10 bis 20 Mal effektiver und >10 Mal schneller als herkömmliche Methoden und Plasmareiniger.

Ein mobiles Plasmasystem, das REM/TEM-Proben/Halter und andere Teile in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und bearbeitet. Die MCA-Kammer bietet Platz für mehrere Proben zur Entfernung von Kohlenwasserstoffen, zur Hydrophilisierung von Oberflächen, zur Lagerung und Reinigung von drei TEM-Haltern und Proben mit der GV10x Downstream-Plasmaquelle in einer mobilen Einheit.
Die Plasmaquelle kann komfortabel abgenommen und mittels „Qwk-Switch“-Verbinder einfach an einen freien SEM-Port transferiert werden, um eine In-situ-Plasmareinigung durchzuführen (2-in-1-Funktionalität).

Ähnlich wie der MCA, unterscheidet sich jedoch bei Turbomolekularvakuum und Geschwindigkeit. Ein optionales optisches Mikroskop kann installiert werden, um Proben während der Plasmakonditionierung zu montieren und zu beobachten und um potenzielle Lecks in flüssigen/gasförmigen Probenkammern zu beobachten.

Die Kapazität der MCA-Kammer kann mit der Option „Storage Expansion 3“ auf bis zu 9 TEM-Halter erweitert werden. Diese Kammererweiterung für den MCA nutzt die leistungsstarken Funktionen und die Flexibilität des MCA.

SPex TEM Holder Sleeve erweitert die Möglichkeiten des MCA zur Verwendung mit TEM-Haltern. SPex für MCA nutzt die leistungsstarken Funktionen und die Flexibilität der MCA-Plasmareinigungsstation.