Le LiteScope Phenom associe le MEB de table Thermo Scientific Phenom XL G3, reconnu pour sa fiabilité, à la puissance du LiteScope de NenoVision pour une imagerie correlative in situ de AFM dans MEB (AFM-in-SEM). Le résultat est une solution tout-en-un pratique pour l’imagerie et l’analyse rapides des matériaux, avec de véritables informations de surface en 3D et une cartographie locale des propriétés des matériaux.
Sans déplacer l’échantillon d’un instrument à l’autre. Cette solution rend la caractérisation corrélative AFM-in-SEM accessible sur une plateforme de table, sans le coût ni l’encombrement d’un MEB haut de gamme et d’un AFM indépendants l’un de l’autre.
- Grande platine d’échantillon jusqu’à 100 mm × 100 mm
- Temps moyen pour obtenir une image MEB : 60 secondes
- AFM in situ dans la chambre MEB
- AFM + MEB corrélatifs dans un seul flux de travail




