La capacité du GV10x Downstream Asher à éliminer la contamination par le carbone constitue un pas en avant important par rapport aux méthodes traditionnelles d’atténuation de la contamination par capture froide, purge à l’azote et autres nettoyeurs de plasma. Le GV10x, avec sa gamme étendue de puissance et de pression (de 5 watts à 100 watts et de 250 Pa à <0,7 Pa), représente un un renversement de tendance dans la décontamination du carbone des MEB et d’autres systèmes à vide. L’oxygène et l’hydrogène atomiques éliminent la contamination en convertissant le carbone de surface en molécules en phase gazeuse qui sont ensuite pompées hors des chambres.

Le GV10x UHV DS Asher est conçu pour être installé sur une chambre UHV après un nettoyage plasma de la chambre dans la gamme millipascale sans rupture du vide. Cette source de plasma in situ unique en son genre élimine le besoin d’une vanne d’isolation et d’une pré-pompe coûteuses. Grâce à une conception innovante de la source de plasma, le GV10x UHV Downstream Asher réduit la contamination par les hydrocarbures de 10 à 20 fois plus efficacement sur les optiques synchrotron et >10 fois plus rapide que les méthodes traditionnelles et les nettoyeurs à plasma.

Un centre de plasma mobile qui qui nettoie, conserve et prépare des échantillons/supports SEM/TEM et d’autres articles dans une petite chambre. La chambre MCA accueille un assortiment d’échantillons pour éliminer les hydrocarbures, hydrophiliser les surfaces, stocker et nettoyer trois porte-échantillons et échantillons TEM avec le plasma GV10x Downstream monté sur un chariot portable.

L’unité de plasma peut être détachée et simplement fixée à l’aide du connecteur « Qwk-Switch » à un port libre du MEB en quelques minutes pour un nettoyage au plasma in situ (fonction 2 en 1).

Similaire au MCA mais se distinguant par la pression et la vitesse turbomoléculaires. Un microscope optique optionnel peut être installé pour monter et observer les échantillons pendant le conditionnement du plasma et l’observation des fuites potentielles à partir des cellules d’échantillons liquides/gazeux.

Les capacités de la chambre MCA peuvent être étendues pour accueillir jusqu’à 9 porte-échantillons TEM avec l’ajout de l’option Storage Expansion 3. Cette extension de stockage pour le MCA exploite les puissantes capacités et la flexibilité du MCA.

Le SPex TEM Holder Sleeve élargit les capacités du MCA afin d’y intégrer les fonctionnalités du TEM Holder. SPex pour MCA exploite les puissantes capacités et la flexibilité de la station de nettoyage plasma MCA.