Vorige maand kon u meer te weten komen over de technologische mogelijkheden van de Thermo Phenom desktop SEM in onze blog over desktop SEM “SEM binnen het bereik van elk lab“. Naar aanleiding daarvan ontvingen we nogal wat vragen over de mogelijkheden die de EDS-module (energie-dispersieve röntgenspectroscopie) te bieden heeft als analytische aanvulling op de standaard beeldvormingsmogelijkheden van de SEM. Vaak zijn de belangrijkste onderwerpen dan resolutie, kwantificering, piekscheiding en de softwaremogelijkheden voor onder andere oppervlaktescannen en lijnscannen.

In dit vervolgartikel gaan we dieper in op de mogelijkheden die desktop SEM te bieden heeft als we SEM-beeldanalyse gaan combineren met chemische analyse via EDS.

SEM-toepassingen verbeteren met EDS

EDS geeft informatie over de samenstelling van materialen door de karakteristieke röntgenstraling te analyseren die wordt gegenereerd door de interactie van het monster met de elektronenbundel. De hoge helderheid van de CeB6 en FEG bronnen in een Thermo Scientific Phenom SEM, gecombineerd met de detectorgeometrie, biedt het voordeel van een hoge telsnelheid (aantal gedetecteerde röntgengebeurtenissen per seconde) zonder afbreuk te doen aan de resolutie. EDS is een veelgebruikte techniek in elektronenmicroscopie omdat het snel, nauwkeurig en niet-destructief is en lokale informatie geeft in een microvolume.

Volledige integratie van software en hardware

In een Thermo Phenom SEM is de EDS-detector volledig geïntegreerd in de microscoop, wat betekent dat zowel de hardware als de software volledig gesynchroniseerd zijn. De detectorinstellingen worden automatisch geoptimaliseerd voor de gekozen configuratie van de elektronenbundel, waardoor onbedoelde verkeerde uitlijningen worden voorkomen. Verschillen in gemeten samenstellingen kunnen soms optreden door veranderingen in de versnellingsspanning in de elektronenkolom. De Phenom EDS-software is geschikt voor alle versnellingsspanningen en past de instellingen en vereiste correcties automatisch aan.

Snelheid en kwantificering combineren

Als de analyse kwantitatief moet zijn, moeten zowel de elementen als hun concentraties uit het EDS-signaal worden bepaald. De Thermo Phenom EDS software is ontworpen om dit allemaal automatisch te doen, en het is niet nodig om instellingen aan te passen bij het wisselen van monsters. De software corrigeert ook voor inherente artefacten die aanwezig zijn in elke EDS detector, wat een van de voordelen is van het werken met een EDS oplossing die gebouwd is rond de desktop SEM microscoop.

Snelle resultaten, zelfs op grotere oppervlakken

X-ray analytical mapping stelt de operator in staat om te begrijpen hoe de samenstelling varieert over grotere monsteroppervlakken. Met behulp van de fast mapping optie in de Phenom desktop SEM software is een gekleurde weergave toegankelijk voor grotere gebieden. Deze functie toont de eerste resultaten binnen enkele seconden en verfijnt en bouwt het beeld in de loop van de tijd op om een betrouwbaar eindresultaat te verkrijgen. Door de line-scan optie te gebruiken, kunnen ook dwarsdoorsneden van een of meer overlappende oppervlakken worden geanalyseerd.