alleen verkrijgbaar in Duitsland & Oostenrijk
Zeer nauwkeurige robots voor microscopen
Wij bieden uiterst nauwkeurige robotoplossingen voor interactie met en karakterisering van monsters tot op nanometerschaal. Op basis van een unieke bewegingstechnologie is het positioneren van sondes met onze robots en het onderhouden van stabiele elektrische contacten nog nooit zo eenvoudig geweest. De hoge modulariteit van onze oplossingen biedt aanzienlijke flexibiliteit voor diepgaande integratie met een verscheidenheid aan microscopie- en testapparatuur, waardoor efficiënte meetworkflows mogelijk zijn.
De miBot™ van Imina Technologies is een uiterst veelzijdige en intuïtief te gebruiken op piëzo gebaseerde manipulator. In combinatie met verschillende instrumenten van derden wordt hij gebruikt om de tasterpunten nauwkeurig te positioneren op elektronische apparaten en MEMS, of om eigenschappen van nanodeeltjes en biologische monsters te hanteren en te karakteriseren.
- 4 Vrijheidsgraden
- Groot verplaatsingsbereik van enkele cm
- Resolutie tot nm
- Hoge stabiliteit
- Intuïtief te bedienen
Technische specificaties
Ons aanbod is onderverdeeld in 2 productlijnen – MICRO en NANO – met een hoge mate van onderlinge uitbreidbaarheid die zich aanpast aan uw apparatuur, monsters en experimentele vereisten.
NANO productlijn
✓ In-situ nanoprobing en elektrische storingsanalyse (EFA) oplossingen voor SEM, FIB of dubbele bundel.
✓ De positioneerresolutie is < 1 nm. De afneembare plateaus kunnen eenvoudig (in enkele minuten) worden gemonteerd op de monsterpositie-eenheid van de meeste SEM-modellen. De platforms kunnen worden gebruikt met maximaal 8 miBot™ Mobile Nanoprobers.
✓ De oplossingen zijn compatibel met geavanceerde microscopen, met korte werkafstanden, gekantelde hoeken en magnetische onderdompelingsmodus.
✓ EFA-toepassingen zoals EBAC/RCI, EBIC en EBIRCh worden ondersteund.
✓ Onze Precisio™ software biedt een geïntegreerde workflow voor het positioneren van de nanosondes, het uitvoeren van elektrische testmetingen en ondersteuning voor verwerking en rapportage.
Nieuw: Robot NANO+ voor veiliger en sneller landen van de sonde
✓ 15 µm fijn bewegingsbereik in Z (arm/taster)
✓ Snellere en eenvoudigere landing van de taster (2 tot 4 keer) op het contactoppervlak van het monster
✓ Veiligere experimenten, minder schade aan monster/taster
✓ Beschikbaar als upgrade voor bestaande NANO – miBots
MICRO productlijn
✓ MiBots™ zijn geïntegreerd in optische microscopen, sondestations en inspectiegereedschappen om sondes nauwkeurig te positioneren en fysiek te interacteren met monsters.
✓ De positioneerresolutie is < 100 nm. Verschillende platforms passen zich aan de beschikbare ruimte en experimentele behoeften aan en kunnen tot 8 miBot™ mobiele robots bevatten.
✓ Stand-alone sondestations voor kleine sondes of wafers maken semi-automatisch gebruik mogelijk.
✓ Microprobing platformkits kunnen worden geïntegreerd in bestaande rechtopstaande of omgekeerde optische microscopen, sondeerstations, instrumenten voor inspectie van halfgeleiders, AFM’s of handschoenkasten/omgevingskamers.
TFS Phenom integratie
✓ De Phenom elektronenmicroscopen zijn niet alleen kleiner, eenvoudiger en goedkoper dan een groot apparaat, ze zijn ook veel sneller dankzij het lage vacuüm in de monsterkamer en vereisen geen coating van niet-geleidende oppervlakken.
✓ Desktop SEM-apparaten bieden meer gebruiksgemak en democratiseren de SEM-technologie. Daarnaast bieden ze het extra voordeel van een kleiner frame. Terwijl traditionele standalone SEM-apparaten een speciale ruimte of opstelling vereisen, zijn desktopapparaten veel robuuster.
✓ Sommige gebruikers hebben zelfs hun desktop SEM’s uit het lab gehaald en bieden on-site analyse met elektronenmicroscopie via mobiele laboratoria.
✓ In-situ desktop SEM elektrische sondering en manipulatie
✓ Beschikbaar met model Phenom XL G2
Vraag hier uw productdemo aan
Wilt u meer weten over de IMINA Micro Robot miBot, of hem zelf in actie zien? We regelen graag een persoonlijke demonstratie. Of neem contact met ons op om de oplossingen te bespreken die de desktop SEM kan bieden voor uw laboratorium.