disponible uniquement en Allemagne et Autriche
Robots de haute précision pour microscopes
Nous proposons des solutions robotiques de haute précision pour interagir avec des échantillons et les caractériser à l’échelle du nanomètre. Basé sur une technologie de mouvement unique, le positionnement des sondes avec nos robots et le maintien de contacts électriques stables n’ont jamais été aussi faciles. La grande modularité de nos solutions offre une flexibilité considérable pour une intégration profonde avec une variété d’équipements de microscopie et de test, permettant des flux de travail de mesure efficaces.
Le miBot™ d’Imina Technologies est, un manipulateur à base de piézo extrêmement polyvalent et d’utilisation intuitive. En combinaison avec divers instruments tiers, il est utilisé pour positionner avec précision des pointes de sonde sur des dispositifs électroniques et des MEMS, ou pour manipuler et caractériser les propriétés de nanoparticules et d’échantillons biologiques.
- 4 degrés de liberté
- Grande distance de déplacement de plusieurs cm
- Résolution jusqu’au nm
- Grande stabilité
- Commande intuitive
Spécifications techniques
Notre offre est divisée en 2 lignes de produits – MICRO et NANO – avec un haut niveau d’évolutivité entre elles qui s’adaptent à votre équipement, à vos échantillons et à vos exigences expérimentales.
Ligne de produits NANO
✓ Solutions de nanorobinage in situ et d’analyse des défaillances électriques (EFA) pour le MEB, le FIB ou le double faisceau.
✓ La résolution du positionnement est < 1 nm. Les plates-formes amovibles se montent facilement (en quelques minutes) sur la platine de positionnement des échantillons de la plupart des modèles de MEB. Les plateformes peuvent être utilisées avec jusqu’à 8 nanoprobers mobiles miBot™.
✓ Les solutions sont compatibles avec les microscopes avancés, utilisant de courtes distances de travail, des angles inclinés et le mode d’immersion magnétique.
✓ Les applications EFA telles que EBAC/RCI, EBIC, EBIRCh sont prises en charge.
✓ Notre logiciel Precisio™ fournit un flux de travail intégré permettant de positionner les nanosondes, d’effectuer des mesures de test électrique et de prendre en charge le traitement et le rapport.
Nouveau : Robot NANO+ pour un atterrissage plus sûr et plus rapide des sondes.
✓ Mouvement fin de 15 µm en Z (bras/sonde)
✓ Atterrissage plus rapide et plus facile de la sonde (2 à 4 fois) sur la zone de contact avec l’échantillon
✓ Expériences plus sûres, moins de dommages à l’échantillon/à la sonde
✓ Disponible en tant que mise à niveau pour les NANO – miBots existants
Ligne de produits MICRO
✓ Positionnez précisément les sondes et interagissez physiquement avec les échantillons, en utilisant les miBots™ intégrés aux microscopes optiques, aux stations de sondes et aux outils d’inspection.
✓ La résolution du positionnement est < 100 nm. Différentes plateformes s’adaptent à l’espace disponible et aux besoins expérimentaux, et peuvent contenir jusqu’à 8 robots mobiles miBot™.
✓ Les stations de sondes autonomes pour les petites sondes ou les plaquettes peuvent permettre un fonctionnement semi-automatique.
✓ Les kits de plates-formes de microprotection s’intègrent aux microscopes optiques verticaux ou inversés, aux stations de sondes, aux outils d’inspection des semi-conducteurs, aux AFM ou aux boîtes à gants/chambres environnementales existantes.
Intégration de TFS Phenom
✓ Les microscopes électroniques Phenom ne sont pas seulement plus petits, plus simples et moins chers qu’un grand appareil, ils sont aussi beaucoup plus rapides grâce au faible vide dans la chambre d’échantillon et ne nécessitent aucun revêtement des surfaces non conductrices.
✓ Les appareils de MEB de bureau offrent une plus grande facilité d’utilisation et démocratisent la technologie du MEB. En outre, ils offrent l’avantage d’un cadre plus petit. Alors que les appareils de MEB autonomes traditionnels peuvent nécessiter un espace ou une installation dédiés, les appareils de bureau sont beaucoup plus robustes.
✓ Certains utilisateurs ont même sorti leur MEB de bureau du laboratoire et proposent des analyses sur site par microscopie électronique grâce à des laboratoires mobiles.
✓ Sondage électrique et manipulation in situ du MEB de bureau
✓ Disponible avec le modèle Phenom XL G2
Demandez une démonstration de votre produit ici
Vous souhaitez en savoir plus sur le IMINA Micro Robot miBot ou le voir en action ? Nous nous ferons un plaisir d’organiser une démonstration personnelle. Ou contactez-nous pour discuter des solutions que Desktop SEM peut apporter à votre laboratoire.