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Hochpräzise Roboter für Mikroskope
Wir bieten hochpräzise Roboterlösungen für die Interaktion mit und die Charakterisierung von Proben bis in den Nanometerbereich. Basierend auf einer einzigartigen Bewegungstechnologie war es noch nie so einfach, Sonden mit unseren Robotern zu positionieren und stabile elektrische Kontakte aufrechtzuerhalten. Die hohe Modularität unserer Lösungen bietet erhebliche Flexibilität für eine tiefe Integration mit einer Vielzahl von Mikroskopie- und Testgeräten und ermöglicht so effiziente Messabläufe.
Der miBot™ von Imina Technologies ist ein äußerst vielseitiger und intuitiv zu bedienender piezobasierter Manipulator. In Kombination mit verschiedenen Instrumenten von Drittanbietern wird er zur präzisen Positionierung von Sondenspitzen auf elektronischen Bauteilen und MEMS oder zur Handhabung und Charakterisierung der Eigenschaften von Nanopartikeln und biologischen Proben verwendet.
- 4 Freiheitsgrade
- Großer Verfahrweg (mehrere cm)
- Auflösung bis herab zu nm
- Hohe Stabilität
- Intuitive Steuerung
Technische Daten
Unser Angebot ist in 2 Produktlinien unterteilt – MICRO und NANO – mit einem hohen Maß an Aufrüstbarkeit untereinander, die sich an Ihre Ausstattung, Proben und experimentellen Anforderungen anpassen.
NANO-Produktlinie
✓ In-situ-Nanoprobing- und EFA-Lösungen (Electrical Failure Analysis) für SEM, FIB oder Dual Beam.
✓ Die Positionierungsauflösung beträgt < 1 nm. Abnehmbare Plattformen werden einfach (in Minuten) auf dem Probenpositionstisch der meisten REM-Modelle montiert. Die Plattformen können mit bis zu 8 mobilen miBot™ Nanoprobern verwendet werden.
✓ Die Lösungen sind mit fortschrittlichen Mikroskopen kompatibel , die kurze Arbeitsabstände, Neigungswinkel und den magnetischen Immersionsmodus verwenden.
✓ EFA-Anwendungen wie EBAC/RCI, EBIC, EBIRCh werden unterstützt
✓ Unsere Precisio™-Software bietet einen integrierten Workflow, um die Positionierung der Nanosonden zu ermöglichen, elektrische Testmessungen durchzuführen und die Verarbeitung Messdaten und Berichterstattung zu unterstützen.
Neu: Roboter NANO + für sicherere und schnellere Sondenlandung
✓ 15 µm feiner Bewegungsbereich in Z (Arm/Sonde)
✓ Schnellere und einfachere Sondenlandung (2 bis 4 Mal) auf der Probenkontaktfläche
✓ Sicherere Experimente, weniger Proben-/Sondenschäden
✓ Verfügbar als Upgrade für bestehende NANO-miBots
MICRO-Produktlinie
✓ Positionieren Sie Sonden präzise und interagieren Sie physisch mit Proben, indem Sie miBots™ verwenden, die in optische Mikroskope, Probestations und Inspektionsgeräte integriert sind.Positionieren Sie Sonden präzise und interagieren Sie physisch mit Proben, indem Sie miBots™ verwenden, die in optische Mikroskope, Probestations und Inspektionsgeräte integriert sind.
✓ Die Positionierungsauflösung beträgt < 100 nm. Verschiedene Plattformen passen sich an den verfügbaren Platz und die experimentellen Anforderungen an und können bis zu 8 mobile miBot™-Roboter aufnehmen.
✓ Eigenständige Probestations für entweder kleine Sonden oder Wafer können einen halbautomatischen Betrieb bieten.
✓ Kits für Mikrosondenplattformen lassen sich in vorhandene aufrechte oder invertierte optische Mikroskope, Probestations, Halbleiterinspektionswerkzeuge, AFMs oder Gloveboxen/Klimakammern integrieren.
TFS Phenom-Integration
✓ Die Phenom Elektronenmikroskope sind nicht nur kleiner, einfacher und preisgünstiger als ein Großgerät, sie sind dank dem geringen Vakuum in der Probenkammer auch viel schneller und benötigen keine Beschichtung von nichtleitenden Oberflächen.
✓ Desktop-REM-Geräte bieten eine größere Anwenderfreundlichkeit und demokratisieren die REM-Technologie. Darüber hinaus bieten sie den zusätzlichen Vorteil einer geringeren Rahmengröße. Während herkömmliche REM-Standgeräte einen speziellen Raum oder eine spezielle Einrichtung erfordern können, sind Desktop-Geräte weitaus robuster.
✓ Einige Anwender haben sogar ihre Desktop-REMs aus dem Labor mitgenommen und bieten über mobile Labore eine Analyse mithilfe von Elektronenmikroskopie vor Ort.
✓ Elektrisches Nanoprobing und Manipulation In-situ im Desktop-REM
✓ Erhältlich mit Modell Phenom XL G2
Fragen Sie hier Ihre Produktdemo an
Möchten Sie mehr über das IMINA Micro Robot miBot erfahren oder es selbst in Aktion sehen? Gerne arrangieren wir für Sie eine persönliche Vorführung. Oder nehmen Sie Kontakt mit uns auf, um die Lösungen zu besprechen, die das Desktop REM für Ihr Labor bieten kann.