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Die Mikroskopie ist nach wie vor die absolut wichtigste und bevorzugte Methode für die Analyse der Partikelgrößen- und -formverteilung. Mit dem Einsatz von SEM kann diese Technik nun auch im Mikron- und Submikronbereich eingesetzt werden, was mit der optischen Mikroskopie aufgrund der begrenzten Auflösung nicht möglich ist.

Während in der Vergangenheit die Anzahl der Partikel und Parameter, die in akzeptabler Zeit analysiert werden konnten, begrenzt war, sind die Möglichkeiten in diesem Bereich heute aufgrund der exponentiell gestiegenen Rechenleistung der Computer nahezu unbegrenzt. So kann eine nahezu unbegrenzte Anzahl von Partikeln oder Bildern, die Partikel enthalten, in kürzester Zeit analysiert werden. Die Software bestimmt dann selbst, wann die Abweichung der Parameter innerhalb akzeptabler Toleranzen liegt und die Messung beendet werden kann.

Die Thermo Phenom Mikroskope können mit verschiedenen Softwaremodulen zur Bestimmung von Partikelgröße, -form und -zusammensetzung ausgestattet werden.

Zum Beispiel wird die ParticleMetric Software zur Bestimmung der Partikelgröße und -form auf einem oder mehreren voraufgenommenen Bildern verwendet. Eine weitere Automatisierung oder Personalisierung von Prüfverfahren ist mit der PPI-Programmierschnittstelle von Phenom möglich, während vollautomatische Desktop-REM-Systeme wie das ParticleX TC zusätzlich die EDX-Elementanalyse zur weiteren Identifizierung einsetzen, beispielweise nach bestimmten Industriestandards wie der VDA 19 / ISO16232.

Andere automatisierte REM-Systeme wie das ParticleX AM, Phenom GSR und Phenom Asbestometric werden speziell für die additive Fertigung, die Bestimmung von Schmauchspuren bzw. Asbestfasern eingesetzt.

Für die perfekte Dispersion von Partikeln auf einem Stub oder Filter kann der Thermo Nebula Partikeldispenser verwendet werden.

Anwendungshinweise