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Chemische Zusammensetzung
Chemische Zusammensetzung
EDX oder EDS (energiedispersive Röntgenspektroskopie) bietet eine leistungsstarke analytische Erweiterung der Standardabbildungsmöglichkeiten der Elektronenmikroskopie. Neben der bekannten Einzelpunktanalyse kann die leistungsfähige Software unter anderem auch Oberflächenscans und Zeilenscans durchführen. Damit lassen sich die Homogenität oder die chemische Zusammensetzung einer Oberfläche untersuchen oder Verunreinigungen auf (sub-)mikroskopischer Ebene nachweisen. Zeilenscans sind besonders interessant für die Untersuchung der Haftungseigenschaften, der Schichtdicke oder des Vorhandenseins von Verunreinigungen einer Beschichtung an Querschnitten von Proben.
Alle Modelle der Thermo Phenom Desktop REM Reihe können mit einem EDX-Modul ausgestattet werden. Zusätzlich zu den Softwaremodulen Point & ID, Linescan und Element-Mapping verfügt das Standmodell Thermo Axia ChemiSEM über Live Color Imaging, bei dem analytische Informationen synchron mit dem Elektronen-Scan-Prozess erfasst werden. Diese werden dann in Form von zusätzlichen Farbinformationen zusätzlich zum herkömmlichen Graustufenbild dargestellt. Mit anderen Worten: Die EDX-Elementanalyse läuft immer im Hintergrund und diese Daten können jederzeit zusätzlich zu den Standard-REM-Bildern angezeigt werden.
Die verschiedenen Modelle der Thermo Phenom ParticleX-Reihe sind mit speziellen Softwaremodulen ausgestattet, die Bildgebung und EDX für die vollautomatische Analyse in den Bereichen Technische Sauberkeit, Additive Fertigung, Batterien, Stahl und Schussrückstandsanalyse kombinieren. Diese Geräte können eine kontinuierliche Routineanalyse durchführen oder beispielsweise tagsüber für R&D-Zwecke eingesetzt werden und nachts automatisch Standardanalysen durchführen.
Axia ChemiSEM