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Die Untersuchung von Oberflächen ist nach wie vor eine der wichtigsten Aufgaben für ein Elektronenmikroskop. Wichtige Parameter sind dabei die Rauheit, die allgemeine Topographie, die Bestimmung von Einschlüssen, die Homogenität und Verteilung verschiedener Materialien und chemischer Elemente auf einer Oberfläche sowie das Vorhandensein von Unregelmäßigkeiten, Strukturen, Rissen und Brüchen.

Für die Untersuchung von Oberflächen stehen die folgenden Softwaremodule zur Verfügung:

Die Anwendung 3D Roughness Reconstruction ermöglicht es dem Benutzer, dreidimensionale Bilder und Sub-Mikrometer-Rauheitsmessungen zu erzeugen.

Die EDX Elemental Mapping Software ermöglicht es dem Bediener, mit dem integrierten EDX-Analysemodul einen Ausschnitt einer Probe zu definieren und mit dem Scannen dieser Oberfläche zu beginnen, um die Homogenität und Verteilung der chemischen Elemente zu untersuchen.

Vollautomatische Systeme wie das Phenom Particle X Battery und Phenom Particle X Steel können für Arbeiten mit hohem Durchsatz eingesetzt werden, bei denen die Oberflächen von Proben auf das Vorhandensein von Einschlüssen oder Unregelmäßigkeiten untersucht werden, wobei eine Kombination aus Bildanalyse und EDX verwendet wird.