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L’étude des surfaces reste l’une des tâches les plus importantes du microscope électronique. Les paramètres importants à cet égard sont la rugosité, la topographie générale, la détermination des inclusions, l’homogénéité et la distribution des différents matériaux et éléments chimiques sur une surface, ainsi que la présence d’irrégularités, de structures, de fissures et de fractures.

Les modules logiciels suivants sont disponibles pour l’étude des surfaces :

L’application 3D Roughness Reconstruction permet aux utilisateurs de générer des images tridimensionnelles et des mesures de rugosité sub-micrométriques.

Le logiciel EDX Elemental Mapping permet à l’opérateur d’utiliser le détecteur EDS intégré au système pour définir une région d’un échantillon et commencer à la cartographier afin d’en étudier l’homogénéité et la distribution des éléments chimiques.

Les systèmes entièrement automatisés tels que le Phenom ParticleX BATTERY et le Phenom ParticleX STEEL peuvent être utilisés pour des travaux à haut débit où la surface des échantillons est analysée pour détecter la présence d’inclusions ou d’irrégularités, en combinant l’analyse d’images et l’analyse élémentaire EDS.